三菱电机 MITSUBISHI OZONIZER 臭氧发生器 短间隙无声放电 OS‑5P

三菱电机 MITSUBISHI OZONIZER 臭氧发生器 短间隙无声放电 OS‑5P

三菱电机拥有 50 余年臭氧放电技术积累，短间隙无声放电（水冷圆筒）为核心技术，兼顾高浓度、高效率、输出稳定，覆盖半导体工艺、超纯水、工业废水、市政净水、废气除臭多个领域，累计装机超 1700 台。

核心技术特点

短间隙放电技术：放电间隙高精度控制，臭氧生成效率高，可高 300g/m³(N) 高浓度输出，支持氧气源 / 干燥空气源两种原料供气。

长期输出稳定：特制定位垫片维持放电间隙精度，长时间连续运行浓度衰减小，适合半导体产线不间断生产；支持无开盖长周期运行，维护量低。

水冷结构：散热优秀，大功率机型热稳定性强；可 4‑20mA、通讯信号对接 PLC，浓度、产量可远程调节。

半导体专用 OZ‑H 系列：改良电介质材质，高温工况下依旧维持高浓度，减少放电单元清洗更换频次，适配 8‑12 寸晶圆超纯水臭氧清洗、氧化工艺。