CHUKOH中兴化成 氟树脂材料三大核心工业场景落地应用案例

CHUKOH中兴化成 氟树脂材料三大核心工业场景落地应用案例

案例一：12英寸晶圆封装产线热压工位良率提升项目

项目背景

苏州某头部半导体封装企业的12英寸晶圆热压封装工位，长期面临压合头表面粘胶残留、高温静电击穿晶圆引脚的问题，月度制程良率仅为92.7%，频繁的工位清洁维护导致单班有效产能下降15%，成为产线扩产的核心瓶颈。

选型方案

项目最终选用CHUKOH中兴化成‌AGB-100抗静电氟树脂胶带‌，该产品以玻璃布为基材，表面复合含导电碳的PTFE氟树脂涂层，表面电阻率控制在10^8Ω以下，工作温度覆盖-60~200℃，匹配热压工位180℃的长期运行工况。

落地效果

压合头表面粘胶残留问题解决，工位清洁周期从每4小时1次延长至每72小时1次

静电击穿晶圆引脚的不良率从1.2%降至0.1%以下

产线月度制程良率提升至98.2%，单班有效产能直接提升12%

该方案已在企业旗下3条同类型封装产线完成全量推广