ULVAC爱发科水晶振荡式成膜控制器CRTM-R1-EL的操作使用

ULVAC爱发科水晶振荡式成膜控制器CRTM-R1-EL的操作使用

CRTM-R1-EL 是一款水晶式成膜控制器，针对有机 EL 沉积工艺和钙钛矿太阳能电池沉积工艺进行了优化。

采用了一种新的测量方法来高分辨率并显着提高速率稳定性。

特点

采用新的测量方法，速率稳定性显着提高。

能力（CI值）测量提高了晶体板的异常检测能力。

可以同时控制 8 个元件。 （添加选项时）

通讯方式兼容以太网和RS-232C。

CRTM-R1-EL上保存的各种日志数据可以以 CSV 格式传输到 USB。

通过使用 Calc-Z 功能，即使对于 Z 比未知的材料，也可以在自动计算 Z 比的同时沉积材料。

用途

有机EL沉积和钙钛矿太阳能电池沉积工艺中的薄膜厚度、速率管理和控制

规格

*1:设置 Tooling=100、Density=1 时的值

*2:这是通过 Tooling=100、Density=1 转换频率分辨率获得的值。

选项介绍

使用CRTM-R1-EL时，需要另外选购选配的CTM-EL(-D)+电缆组、传感器、导入法兰等。

传统CRTM与新型CRTM-R1-EL沉积率比较

CRTM-R1-EL噪音低，工作稳定。

【CRTM-R1-EL 】

【CRTM 】