日本艾泰克AITEC晶圆紫外线照射器MUVBA-0.4×0.6×0.2使用说明

日本艾泰克AITEC晶圆紫外线照射器MUVBA-0.4×0.6×0.2使用说明

特色

● 紫外线固化装置，使用LED作为紫外光源切割胶带

● 紫外线照射强度可调节，音量旋钮（0 ~ 100%）

● 简易紫外线安装结构便于将紫外线照射器更换为其他波长

● N2净化机制降低紫外线固化时的氧气抑制

● N2预清洗机构减少额外紫外线照射时间

● N2 清洗量可通过流量计阀控制

把它拆下来，换上照射器。

用例示例

● 晶圆保护膜在反磨过程中硬化

● 紫外固化切割带切割后固化

● 研发与实验应用

● 小批量生产应用

半导体制造工艺（后端工艺）