ULVAC爱发科通过采用DC无刷电机罗茨泵MBS-053的操作使用

ULVAC爱发科通过采用DC无刷电机罗茨泵MBS-053的操作使用

机械增压泵是一种可以显着提高抽速的泵。

通过与油回转真空泵或干泵等低真空泵组合，可以在低真空泵抽速降低的压力范围内显着提高抽速。

应用于半导体加工、真空蒸馏、真空包装、脱气、薄膜、真空冶金、低密度风洞实验、空间开发、真空浸渍、真空干燥等众多领域。

机械增压泵在壳体内有两个茧形转子，进入轴端部的驱动齿轮并沿相反方向同步旋转。从进气口进入的气体被截留在机壳和转子之间的空间中，随着转子的旋转，被排出到排气口侧，然后由后级的辅助泵释放到大气中。

转子在保持小间隙（0.1至0.3毫米）的情况下旋转，彼此或外壳不接触，并输送气体，因此转子室内不需要润滑油。因此，能够油蒸气污染少的真空排气。

•低功耗

•使用磁性联轴器无漏油

•体积小巧，重量轻

•可在大气压下启动

•100V系统与220V系统下须设置驱动回路

特点

小型罗茨式真空泵。

在排气速度下降的压力范围，内置的辅助泵可以使排气速度有提升。

通过采用DC无刷电机，可以根据负载以转速运行，因此可以从大气压力开始抽真空。

磁耦合结构，油不会泄漏到泵的外部。

泵的内部密封采用非接触式密封，可显着减少机械损失。（与旧型号相比，功耗降低约60％）

通过切换驱动器箱内的电源，可以在100V系统和200V系统下运行。