成膜设备可选部件ULVAC爱发科薄膜沉积设备的选项PSE的操作说明

成膜设备可选部件ULVAC爱发科薄膜沉积设备的选项PSE的操作说明

成膜设备可选部件

Model:PSE

蒸镀用电源(带外部自动控制功能) 可根据规格的选择在成膜控制器与温度调节计的组合下控制

电压 ：AC １00V 单相 0.8kVA（50/60Hz）允许电压变动范围＝±10％

负荷电流： Max. 80A

控制信号： 外部自动控制输入 DC-0～10V/0～100％设定接收阻抗 1MΩ

电力控制方式： 晶闸管交流相位控制系统（输出稳定精度：±10％・输出变动±2％）

定格：30分

外形尺寸： 480mm（W）×360mm（D）×149mm（H）（不包括突起部分和配件）

质量： 约24kg