日本kokusan科库森对向式离心干燥机H840SA的操作应用

日本kokusan科库森对向式离心干燥机H840SA的操作应用

特点与用途

该设备在半导体行业中作为晶圆干燥设备有着良好的良好记录。

离心力和气流会清洗并排出工件。

摇篮由升降机构自动升起。

主要规格

电源 ：交流电200V 3φ 50/60Hz 15A

驱动空气： 0.5Mpa（5公斤/厘米）

允许载荷能力： 每个托盘的载重能力在2000克以内

ULPA滤波器： 是的

离子器 ：是的

控制： PLC与逆变器

运营部门 ：按钮开关

转速： 1000转/分钟（正常速度800转/分钟）

发动机： 逆变电机

尺寸： 800（W）×990（D）×1004（H）毫米，盖开时高度：1528（H）毫米

重量 ：180公斤

*我们还提供8英寸的设备、手动机器和自动机器。

欢迎随时咨询我们关于半导体以外的应用。