小型蒸发设备ULVAC爱发科带有调节器VPC-1100的操作应用

小型蒸发设备ULVAC爱发科带有调节器VPC-1100的操作应用

将架台上的油扩散泵，油回转泵，皮拉尼真空计，阀门配管，电气系统，压力测量口等必要的部件紧凑组合为一体的，配有钟罩升降设备的电阻加热型高速真空蒸发设备。

适用于大型基板的基础研究开发等实验用途。

特点

玻璃钟罩容易看到内部，有良好的操作性。

可以在不停止主泵的情况下打开真空槽。

通过追加蒸发电源和电极，可同时蒸发或多层蒸发。

更改为EB规格，可成膜高熔点的材料。

蒸发设备带有脚轮，移动为容易。

带有调节器，可设置的安全性。

尺寸图

VPC-1100