适用于高真空环境的传送机器人ULVAC爱发科ELEC-RZ的操作说明

适用于高真空环境的传送机器人ULVAC爱发科ELEC-RZ的操作说明

ELEC-RZ 是一款基于 COVOT 系列功能和性能的小型、低成本的高真空兼容搬运机器人。

特点

磁流体密封用于真空密封，可使用高达 10-6Pa 的高真空。

执行器的小型化使其紧凑，容易安装在设备中。

根据行程、转弯半径、手数等，有多种手臂可供选择。

它使用具有操作性的多功能显示示教器。

规格

model： ELEC-RZ

工作压力区域 ：气压～10-6Pa

晶圆尺寸： 200mm/300mm

持有的晶圆数量 ：1 件/2 件

范围 ：1050mm

旋转角度： ±210°

提升行程 ：50mm

旋转直径：964mm 通过安装臂

有效载荷能力（包括手）：1kg