ULVAC爱发科日本进口分光椭偏仪UNECS-1M的操作应用

ULVAC爱发科日本进口分光椭偏仪UNECS-1M的操作应用

"Model:UNECS"是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用的测量方式，高速测量和机体的小型化。UNECS-1M的传感器单元轻巧紧凑，使其易于集成到检测设备中。

特点

高速测定：快照方法可高达20 ms的高速测量。

适用于可见光谱：波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。

紧凑型传感器单元：光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。

内置型：紧凑轻巧的传感器单元和控制单元使其易于集成到检查设备中。

用途

透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率的测量

规格

波长范围： 530～750nm、380～760nm（选择）

点径： Φ1mm、Φ0.3mm（选择）

入射角度：70°固定

膜厚再现性： 1σ = 0.1ｎｍ

膜厚范围：1nｍ～2μｍ

测量时间受光：20ms ～ 3000ms　演算：300ms

机器构成：测量头、控制器BOX、光源单元、使用说明书（CD）、解析软件（CD）＊控制PC不含在标准中