日本进口迪爱生DIC纯水用防静电装置eFLOW 1AP-B02的操作应用

日本进口迪爱生DIC纯水用防静电装置eFLOW 1AP-B02的操作应用

eFLOW系列是通过DIC开发的“中空纱气体透过膜"供气二氧化碳的方法，控制纯水的比电阻值的装置。可达到防止静电引起的“垃圾再附着"和防止基板图案的“静电破坏"的效果。由于没有复杂的结构，因此故障较少。通过管道分配方式，使得比电阻值的控制变得容易，且稳定性好。碳酸气体供气模块的使用较长。

装置原理

通过调整二氧化碳溶解模块生成的二氧化碳饱和水和纯水的混合比率，可以调节纯水的电阻率。

CO2溶解原理

DIW会在模块内流经中空纤维膜的内部。在此期间，CO2气体会从中空纤维膜外侧渗入到DIW内部。溶解的二氧化碳气体在DIW中发生离子化，从而使DIW具备导电性，并能减少静电。由于使用了微细的中空纤维膜成束的材料，因此可以高效地获得二氧化碳溶解所需的表面积。