ULVAC爱发科日本到货脉冲和直流电源系统DCS0052B的操作应用

ULVAC爱发科日本到货脉冲和直流电源系统DCS0052B的操作应用

DC系列是用于溅射的直流电源 。 它由可靠的元件和电路组成。 它是一种高度可靠的电源，通过在设计中体现我们多年积累的专业知识，包括电源的应用，适合等离子负载。

特点

轻巧且节省空间的设计

提供 800V 和 1000V 输出电压范围（ 10/20kW产品）

对等离子体有深入的了解，进行输出控制

强制风冷系统不需要冷却水

配备出色的 ARC 功能和高速 ARC 切断电路

可并联 12 台 （240kW） （ 10/20kW产品）

符合 CE、SEMI F47 和 RoHS（不包括 DCS 和 400V 规格）