日本全新ULVAC爱发科热阴极电离真空计SH200-A的操作说明

日本全新ULVAC爱发科热阴极电离真空计SH200-A的操作说明

这是一个新Model的传感器类型 "Model:G-TRAN复合电离真空计"，可以不同的测量范围。作为B-A型电离真空计、可以测量高真空。保留了以往的宽幅测压和低运行成本的理念，但进行了改进，更加人性化。

特点

可连接到不同的测量范围：复合电离真空计可以根据。小型化：与之前的产品相比，尺寸的大幅缩小（控制器体积缩小56%），成为同级别小的产品之一。

操作性的提高：通过与PC/智能手机的连接，可以进行设定点设置、状态确认等。

产品阵容：除模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）。灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命。

压力测量范围广：从大气压到高真空范围（1×10+5～5×10-8Pa）（选配SWU10-R的情况下）。

可以测量大气压：可以检查腔体的开启情况（当连接了可选的单元SAU时）。

用途

用于各种制造设备的高真空区域的工艺监控，包括半导体和电子元件。用于具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力测量，例如in-line式和枚叶式，高真空・高真空设备的压力测量。