ULVAC爱发科日本精选薄膜沉积控制器CRTM-6000G的使用操作

ULVAC爱发科日本精选薄膜沉积控制器CRTM-6000G的使用操作

CRTM-6000G 是一款基于晶体振荡器的沉积控制器，可提供出色的分辨率，用于监测和控制沉积膜的厚度/速率。尽管其尺寸紧凑，仅占半机架，但它能够处理低速率控制和多达 99 层的连续多层沉积。

特征

优异的薄膜厚度和沉积速率分辨率即使在低沉积速率下也能控制。

125毫秒的快速采样率可快速响应的控制。

可多达 99 层的多层薄膜控制。

RS232C是标准配置。

可连接两个单传感器（可切换）。

配备可编程数字输入和输出（各 12 个通道）和模拟输出（3 个通道）。

目的

控制气相沉积过程中的薄膜厚度和沉积速率

规格

薄膜厚度和测量分辨率：0.041A (5MHz) 0.029A (6MHz)

薄膜厚度显示范围/显示分辨率：0.000～99.99μm（0.000～999.9kÅ）

蒸汽沉积速率显示范围/显示分辨率：0.01~99.99纳米/秒(0.1~999.9埃/秒)

支持的传感器频率：5MHz，6MHz

可安装的传感器数量:单传感器：2（无法同时测量，可切换）多传感器：1