日本进口ULVAC爱发科油回转真空泵VS1501的操作说明

日本进口ULVAC爱发科油回转真空泵VS1501的操作说明

VS1501／VS2401 是旋片式（单级）的油旋转真空泵。水冷和强制给油的方式使得在高负荷下的排气性能也得以稳定。此外还采用了大型油位计并在设计之初考虑了维保的便捷性。

特点

水冷和强制给油，在高负荷运转下也能满足缸体的供油，排气性能比压差给油更稳定。

使用油压油防吸系统，泵停转时，可以防止油从油箱倒吸至吸气端。

维保便捷性，除使用了可时刻监测油状态的大型油位计外，还设计了油箱清洗、更换排气阀等时的便捷盖。

用途

光学膜蒸镀设备

反射器蒸镀设备

装饰用蒸镀设备

薄膜卷绕蒸镀设备

内嵌溅射设备

烘烤炉 /热处理炉

冻干设备

检漏设备