ULVAC爱发科日本精选低温泵CRYO-U4H的操作说明

ULVAC爱发科日本精选低温泵CRYO-U4H的操作说明

"Model:CRYO-U"，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵Model。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

真空泵是从密封空间排出气体并产生低于大气压的压力状态（真空）的机器。真空泵有多种类型，每种都有不同的抽气机构和抽气速度，必须根据目的和应用来使用。1×10-2Pa至1×10-6Pa范围称为高真空，1×10-7Pa至1×10-9Pa范围称为超高真空，1×10-10Pa或较低的称为高真空。

冷凝泵是一种低温真空泵，旨在实现从高真空到超高真空的状态。该泵通过在内部安装的低温表面凝结和吸附气体，从而高效地捕捉气体。冷凝泵的最大特点是能够提供无油污染的清洁真空环境。此外，尽管采用了吸附方式，冷凝泵的排气速度非常快，这在与其他真空泵的比较中尤为突出。因此，冷凝泵在需要清洁和高效真空环境的各个行业和研究领域中得到了广泛应用。在考虑引入冷凝泵时，其高性能和提供清洁真空环境的能力是其主要优势。

特点

最大发挥了4-inch低温泵的排气特性。

高排气速度有助于提高排气效率和生产率。

特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。

1台压缩机最多可以运行四台泵。

可以根据您的应用进行设计和制造。

外形尺寸 (单位:mm)