日本新品ULVAC爱发科螺杆型干式真空泵MS120A的操作说明

日本新品ULVAC爱发科螺杆型干式真空泵MS120A的操作说明

"Model:MS"是螺杆型干式真空泵。在传统的"Model:LS"的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。

特点

通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。

采用ULVAC独特设计的转子轴，实现高性能的排粉。

从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。

用途

半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。

真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。

锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。

医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。